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霍爾量測系統
⚡ 霍爾量測系統(Hall Measurement System)
霍爾量測系統主要用於分析半導體材料的電性特徵。 透過施加磁場並量測樣品中產生的霍爾電壓(Hall Voltage),可精確判定材料的載子型態、載子濃度與載子遷移率等關鍵電性參數,是半導體材料研究中不可或缺的量測設備。
圖:霍爾量測系統示意
🎯 一、目的與應用(Objective and Applications)
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辨識載子型態(n型 / p型)
確定材料中主要導電載子為電子或電洞。
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量測載子濃度(Carrier Concentration)
評估半導體中自由載子的數量,反映摻雜濃度或本質導電性。
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評估載子遷移率(Carrier Mobility)
分析載子在電場作用下的移動效率,影響材料導電性能。
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分析電阻率與導電率(Resistivity & Conductivity)
了解材料整體導電行為及其對應的物理機制。
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半導體特性量測與材料研究
應用於新型半導體、薄膜、氧化物及複合材料的電性評估。
⚙️ 二、機台原理(Principle)
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電流施加(Apply Current)
讓穩定的電流通過樣品,建立基本電場。
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施加磁場(Add Magnetic Field)
於樣品垂直方向施加磁場,使載子偏轉產生霍爾效應。
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量測霍爾電壓(Measure Hall Voltage)
量測樣品橫向電壓變化,並根據此電壓推算載子型態、濃度與遷移率等物理參數。


