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半導體參數分析儀

半導體參數分析儀
(Semiconductor Parameter Analyzer)

儀器概覽


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HP4145B 半導體參數分析儀為高精度量測儀器,用於分析與評估各類半導體元件的電性特性。 可進行 I–V(電流–電壓)C–V(電容–電壓) 測試,協助研究人員全面掌握元件特性,應用於研發、製程驗證與品質控管等領域。


🎯 一、目的與應用(Objective and Applications)

  • 半導體元件 I–V 與 C–V 特性量測

    評估電晶體、二極體、感測元件等的基本電性行為。

  • 閾值電壓與次臨界斜率分析(Threshold Voltage & Subthreshold Slope)

    用於MOS元件導通特性與開關效率的提取。

  • 漏電流與崩潰電壓測試(Leakage Current & Breakdown Voltage)

    評估元件在高壓或高溫條件下的穩定性與可靠度。

  • 電晶體參數分析(Transistor Parameter Analysis)

    包含遷移率(Mobility)、跨導(Transconductance)等重要特性。

  • 元件可靠度與品質驗證(Device Reliability & Quality Control)

    應用於新製程驗證、產品良率分析及長期穩定性測試。


⚙️ 二、機台原理(Principle)

  1. 偏壓施加(Bias Application)

    由分析儀對被測元件(Device Under Test, DUT)施加精確控制的電壓或電流。

  2. 訊號量測(Signal Measurement)

    即時量測元件的電流或電壓響應,並以高精度方式記錄數據。

  3. 數據處理(Data Processing)

    系統自動生成 I–V 或 C–V 曲線,進一步解析元件的臨界電壓、電導率、電容變化與其他關鍵半導體參數。