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表面輪廓儀
表面輪廓儀（Surface Profiler）
儀器概覽
表面輪廓儀（Alpha-Step Profiler）是一種用於量測薄膜厚度與表面輪廓的高精度儀器。 儀器透過一根鑽石探針（diamond stylus）在樣品表面進行掃描，偵測探針垂直位移並轉換為電子訊號，進而獲得薄膜厚度及表面形貌的數據。此技術廣泛應用於薄膜製程、半導體元件與材料工程領域。
🎯 一、目的與應用（Objective and Applications）
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薄膜厚度量測
精準測定奈米至微米等級的薄膜厚度，適用於蒸鍍、濺鍍、蝕刻等製程後的膜厚檢驗。
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表面輪廓分析
描繪樣品表面的高度變化，用於觀察製程中結構層的均勻性與形貌變化。
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製程品質與可靠度檢測
可用於評估薄膜堆疊層、微結構深度及圖案形貌，以驗證製程精度與穩定性。
⚙️ 二、機台原理（Principle）
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探針掃描（Probe Scanning）
鋒利的鑽石探針以受控力量接觸樣品表面並沿指定方向掃描，感測表面高度變化。
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訊號記錄（Signal Recording）
探針在垂直方向的位移由高靈敏感測器偵測並即時記錄。
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資料轉換與輪廓重建（Signal Conversion & Profiling）
探針位移訊號轉換為電子訊號並進行數據處理，生成表面輪廓圖以計算薄膜厚度及形貌分佈。
