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超音波噴塗系統

超音波噴塗系統 (Ultrasonic Spray Coating System)
 

這是一張圖片
圖：自動化超音波噴塗設備 (From PMC)

設備簡介與原理

本設備為一種先進的超音波噴塗技術，核心原理是利用 28KHz 高頻超音波震盪 將液體材料霧化成微米級顆粒，並均勻沈積於基板表面。

相較於傳統噴塗製程，本系統特別整合了網狀傳輸單元與洗淨乾燥單元。當輸送帶因噴塗過程而沾黏漿料時，系統可自動執行清洗及乾燥程序，系統性地解決了基板背部沾汙（背汙）的問題，確保製程的高良率與環境潔淨。

詳細儀器規格 (Specifications)
設備尺寸 L2570 mm * W1700 mm * H2100 mm
可噴塗區域 500 mm
網狀輸送帶系統 L2420 mm * W700 mm (有效輸送寬幅 650 mm)
超音波噴塗模組 28KHz 渦流式超音波噴頭
超音波驅動器 輸出功率 14W，28~150 kHz 數位式鎖頻控制
精密供料系統 流量差異 1% 以內，脈衝振幅達 5% 以內
輸送帶速度 0 ~ 6 M/min
主要應用領域
  • 半導體製程：各式功能性薄膜之精密塗佈。
  • 光電產業：太陽能電池抗反射層與電極層沈積。
  • 生醫感測：生物相容性塗層與感測元件製作。
  • 能源材料：燃料電池質子交換膜觸媒層塗佈。